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Linear Slide Stage
スライドステージ
スライドステージとは、ワークや装置を直線方向(X軸・Y軸・Z軸)へ高精度に移動させるための位置決め装置です。リニアステージやスライドテーブルとも呼ばれ、製造業や自動化設備、検査装置、半導体製造装置、ロボットシステムなどで広く使用されています。
スライドステージは、リニアガイドやボールねじ、ラック&ピニオン、タイミングベルトなどの駆動機構を用いて、ワークやツールを直線的に移動させます。駆動源には、サーボモーターやステッピングモーター、エアシリンダーなどが使用され、用途に応じて高精度位置決めや高速搬送を実現します。
また、1軸だけでなく、複数のスライドステージを組み合わせることで、XYステージやXYZステージとして使用でき、三次元位置決めにも対応できます。
主な種類には次のようなものがあります。
・電動スライドステージ
・エアスライドステージ
・ボールねじ式スライドステージ
・ベルト駆動式スライドステージ
・リニアモーター式スライドステージ
・精密スライドステージ
・XYステージ・XYZステージ
例えば、
・部品供給装置
・画像検査装置
・レーザー加工機
・半導体製造装置
・ロボットハンド位置決め
・自動組立設備
など、高精度な位置決めや搬送が必要な設備で利用されています。
◆つまりスライドステージとは、


