
Cleanliness Class / Cleanroom Class / ISO Cleanliness Class
清浄度(クリーンクラス)
清浄度(クリーンクラス)とは、空気中に含まれる微粒子(パーティクル)の量によって環境の清浄さを数値で表した指標です。
半導体、電子部品、医薬品、食品、精密機器などの製造では、微小なゴミや粉塵が品質に大きく影響するため、クリーンルーム内の空気清浄度をクリーンクラスで管理します。
現在は主に ISO 14644-1規格が使用され、ISOクラスの数値が小さいほど清浄度が高いことを意味します。
■クリーンクラスの意味
ISO 1 → 非常に清浄 ISO 5 → 半導体 ISO 7 → 一般クリーン
ISO 9 → 通常空気
数字が小さいほどクリーン。
■ISOクリーンクラス表
◆ISOクラス | ◆清浄度 | ◆主な用途 |
ISO1 | 超高清浄 | 研究 |
ISO3 | 超精密 | 半導体 |
ISO5 | 高清浄 | 半導体・医療 |
ISO6 | 精密 | 電子 |
ISO7 | 一般クリーン | 組立 |
ISO8 | 軽クリーン | 工場 |
ISO9 | 通常空気 | 一般室内 |
ISO5以上はクリーンルーム。
■旧規格(クラス100など)
旧FED規格
◆旧クラス | ◆ISO |
Class 1 | ISO3 |
Class 10 | ISO4 |
Class 100 | ISO5 |
Class 1000 | ISO6 |
Class 10000 | ISO7 |
Class 100000 | ISO8 |
今はISOが主流。
■ロボットでの清浄度
クリーン対応ロボットあり
◆用途 | ◆必要クラス |
半導体 | ISO3〜5 |
医薬 | ISO5〜7 |
精密組立 | ISO6〜7 |
食品 | ISO7〜8 |
一般工場 | ISO8〜9 |
ロボットも専用品必要。
■クリーンロボットの特徴
◆特徴 | ◆内容 |
発塵低減 | 特殊シール |
グリス封止 | 飛散防止 |
密閉構造 | 防塵 |
特殊塗装 | 剥離防止 |
ケーブル内蔵 | 発塵減 |
普通ロボットは不可。
■清浄度が重要な理由
◆理由 | ◆内容 |
歩留まり | 向上 |
異物混入防止 | 品質 |
精度 | 微細 |
安全 | 医療 |
信頼性 | 半導体 |
最重要仕様。
■清浄度に影響する要素
◆要素 | ◆内容 |
発塵 | 機械 |
人 | 最大 |
気流 | 乱流 |
温度 | 変動 |
湿度 | 静電気 |
材質 | 摩耗 |
人が最大の汚染源。
■清浄度を保つ方法
◆方法 | ◆内容 |
HEPA | フィルタ |
ULPA | 高性能 |
陽圧 | 防塵 |
エアシャワー | 入室 |
クリーンロボット | 低発塵 |
設備+運用。
■関連用語
◆用 語 | ◆内容 |
IP等級 | 防塵 |
防爆 | 危険 |
耐環境性 | 温度 |
HEPA | フィルタ |
クリーンルーム | 環境 |
■まとめ
清浄度(クリーンクラス)とは、空気中の微粒子量で環境の清浄さを示す指標です。
半導体・医療・精密加工では重要な仕様で、ISOクラスが小さいほど高い清浄度を示します。
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