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高精度協働ロボットのFAIRINO(フェアリノ・ファイリノ)

Cleanliness Class / Cleanroom Class / ISO Cleanliness Class

清浄度(クリーンクラス)

清浄度(クリーンクラス)とは、空気中に含まれる微粒子(パーティクル)の量によって環境の清浄さを数値で表した指標です。

半導体、電子部品、医薬品、食品、精密機器などの製造では、微小なゴミや粉塵が品質に大きく影響するため、クリーンルーム内の空気清浄度をクリーンクラスで管理します。


現在は主に ISO 14644-1規格が使用され、ISOクラスの数値が小さいほど清浄度が高いことを意味します。


■クリーンクラスの意味


ISO 1 → 非常に清浄 ISO 5 → 半導体 ISO 7 → 一般クリーン

ISO 9 → 通常空気


数字が小さいほどクリーン。


■ISOクリーンクラス表

◆ISOクラス

◆清浄度

◆主な用途

ISO1

超高清浄

研究

ISO3

超精密

半導体

ISO5

高清浄

半導体・医療

ISO6

精密

電子

ISO7

一般クリーン

組立

ISO8

軽クリーン

工場

ISO9

通常空気

一般室内

ISO5以上はクリーンルーム。


■旧規格(クラス100など)


旧FED規格

◆旧クラス

◆ISO

Class 1

ISO3

Class 10

ISO4

Class 100

ISO5

Class 1000

ISO6

Class 10000

ISO7

Class 100000

ISO8

今はISOが主流。


■ロボットでの清浄度


クリーン対応ロボットあり

◆用途

◆必要クラス

半導体

ISO3〜5

医薬

ISO5〜7

精密組立

ISO6〜7

食品

ISO7〜8

一般工場

ISO8〜9

ロボットも専用品必要。


■クリーンロボットの特徴

◆特徴

◆内容

発塵低減

特殊シール

グリス封止

飛散防止

密閉構造

防塵

特殊塗装

剥離防止

ケーブル内蔵

発塵減

普通ロボットは不可。


■清浄度が重要な理由

◆理由

◆内容

歩留まり

向上

異物混入防止

品質

精度

微細

安全

医療

信頼性

半導体

最重要仕様。


■清浄度に影響する要素

◆要素

◆内容

発塵

機械

最大

気流

乱流

温度

変動

湿度

静電気

材質

摩耗

人が最大の汚染源。


■清浄度を保つ方法

◆方法

◆内容

HEPA

フィルタ

ULPA

高性能

陽圧

防塵

エアシャワー

入室

クリーンロボット

低発塵

設備+運用。


■関連用語

◆用語

◆内容

IP等級

防塵

防爆

危険

耐環境性

温度

HEPA

フィルタ

クリーンルーム

環境

■まとめ


清浄度(クリーンクラス)とは、空気中の微粒子量で環境の清浄さを示す指標です。


半導体・医療・精密加工では重要な仕様で、ISOクラスが小さいほど高い清浄度を示します。

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