ベルヌ－イチャック

ベルヌーイチャックとは、圧縮空気を高速で噴射し、ベルヌーイの定理による圧力低下を利用してワークを非接触または微小接触状態で浮上・保持する搬送用チャックです。

一般的な真空パッドのように吸着面を密着させる方式ではなく、空気の流れによる負圧効果とエアクッションによってワークを支えるのが特長です。

半導体ウェハ、ガラス基板、フィルム、薄板金など、傷やパーティクル付着を嫌うワークに適しています。

■動作原理（ベルヌーイ効果）

ベルヌーイチャックは、ノズルから高速噴射された空気がワーク表面に沿って流れることで局所的に圧力が低下し、周囲の大気圧との差でワークが引き寄せられる原理を利用します。

同時に、薄い空気層が形成されるため、

・ワークとの直接接触が最小限

・摩擦

・傷発生リスクの低減

・粉塵付着の抑制

が可能になります。

■真空パッドとの違い

・ベルヌーイチャック　→ 非接触保持、薄物・精密材向き

・真空パッド　→ 密着吸着、汎用搬送向き

真空パッドは気密性が必要ですが、ベルヌーイチャックは完全密閉でなくても保持が可能です。

特に多孔質材や微細加工面では有効な選択肢となります。

■ベルヌーイチャックのメリット

・ワーク表面を傷つけにくい

・パーティクル発生を抑制

・薄物の変形リスク低減

・高速搬送に対応

・接触痕が残りにくい

半導体・液晶・医療部材など、高付加価値製品の工程で多く採用されています。

■設計時の重要ポイント（プロ視点）

ベルヌーイチャック選定では、以下を検討します。

・ワーク重量

・ワーク剛性（反りやすさ）

・表面粗さ・供給エア圧

・エア消費量

・保持安定性

空気噴射を常時行うため、エア消費量とエネルギー効率の検討が不可欠です。

また、垂直搬送や急加速工程では、保持力計算と安全率確保が重要になります。

■ロボットシステムでの活用

ロボット搬送においてベルヌーイチャックは、

・高精度位置決め

・精密部品の非接触搬送

・クリーンルーム対応

といった用途で有効です。

真空監視とは異なる保持確認方法が必要なため、センサー設計との組み合わせが重要になります。